본문 바로가기
주메뉴 바로가기
서브메뉴 바로가기
HOME
SKKU
LOGIN
통합검색
통합검색 단어 입력
검색
통합검색
통합검색 단어 입력
검색
INTRODUCTION
INTRODUCTION
PROFESSOR
HISTORY
RESEARCH
RESEARCH
RESEARCH AREA
FACILITIES
MEMBERS
MEMBERS
PH.D CANDIDATE
M.S. CANDIDATE
RESEARCH STAFF
UNDERGRADUATE
ALUMNI
PUBLICATION
PUBLICATION
PAPERS
PATENTS
BBS
BBS
NOTICE
FREEBOARD
GALLERY
ALUMNI
ALUMNI
BOARD
GALLERY
CONTACT
CONTACT
CONTACT
닫기
INTRODUCTION
PROFESSOR
HISTORY
RESEARCH
RESEARCH AREA
FACILITIES
MEMBERS
PH.D CANDIDATE
M.S. CANDIDATE
RESEARCH STAFF
UNDERGRADUATE
ALUMNI
PUBLICATION
PAPERS
PATENTS
BBS
NOTICE
FREEBOARD
GALLERY
ALUMNI
BOARD
GALLERY
CONTACT
CONTACT
닫기
통합검색
통합검색 단어 입력
검색
HOME
ENG
SKKU
LOGIN
PUBLICATION
PATENTS
PUBLICATION
PAPERS
PATENTS
PATENTS
게시글 검색
검색분류선택
전체
제목 + 내용
제목
내용
검색어
검색
전체
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
2000
1999
1998
[2005]
[해외 등록] Etching apparatus using neutral beam
[2005]
[해외 등록] Layer-by-layer etching apparatus using neutral beam and etching method using the same
[2004]
[해외 등록] Method of etching substrates
[2004]
[해외 출원] Inductively coupled plasma processing apparatus having internal linear antenna for large area processing
[2004]
[해외 출원] Method of etching semiconductor device using neutral beam and apparatus for etching the same
[2002]
[해외출원] Method of etching semiconductor device using neutral beam and apparatus for etching the same
첫 페이지로 이동하기
이전 페이지로 이동하기
1
2
3
4
5
6
7
이 사이트는 자바스크립트를 지원하지 않으면 정상적으로 보이지 않을수 있습니다.