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2000
1999
1998
[2014]
플라즈마의 생성영역을 조절할 수 있는 대면적 플라즈마 발생장치
[2014]
플라즈마의 밀도를 조절할 수 있는 내부 삽입형 선형 안테나, 안테나 조립체 및 이를 이용한 플라즈마 장치
[2014]
산화 알루미늄에 대한 저손상 원자층 식각 방법
[2014]
멀티전극을 포함하는 플라스마 발생 장치 및 플라스마 발생 방법
[2014]
그래핀의 패터닝 방법
[2014]
대면적 나노소자용 식각 장비 및 나노소자 식각 방법
[2014]
그래핀의 원자층 식각 방법
[2013]
다중 주파수의 RF펄스 파워를 이용한 펄스 플라즈마의 특성 제어 방법
[2013]
Method for controlling synchronization of pulsed plasma by applying dc power
[2012]
식각 방법
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