- VHF ALD, 삼성전자 반도체연구소
김호곤
KIM HO GON
- 삼성전자 Foundry 사업부
장준기
JANG JUN KI
- Isotropic Plasma Etching
길홍성
GIL HONG SEONG
- Atomic Layer Etching
김경찬
KIM KYOUNG CHAN
- 2D materials, VHF Atomic Layer Deposition
정선재
JEONG SUN JAE
-
- 이메일 sunash@skku.edu
- 삼성전자 (SSIT), 반도체연구소
박종순
PARK JONG SOON
- Capacitively Coupled Plasma
박명호
PARK MYEONG HO
- Inductively Coupled Plasma
어형준
EOH HYEONG JOON
-
- 이메일 roneoh@naver.com